以下是讲座的简介部分：

 三维原子探针技术及其应用

 翁军博士

法国CAEMCA公司中国部

三维原子探针(3DAP)，也称为原子探针断层分析术(APT)，是一种具有亚纳米级空间分辨率的测量和分析设备，专门应对材料研发中微米到纳米尺度的分析与测量方面的难题。三维原子探针能够同时给出材料内部结构的三维形貌和成分组成，特别适合于研究纳米尺度的小结构以及各种内界面，如沉淀、团簇、晶界、相界，多层膜结构中的层间界面等等，是TEM、SIMS等技术的重要补足。

 进入2000年以来，在局部电极、位置灵敏探测器、激光束应用等技术关键技术上的突破性进展，以及针对特殊位置的FIB制样技术的出现，三维原子探针的应用范围等得以大大拓展——所表征的材料从传统的导电性良好的金属材料拓展到半导体、存储介质，到先进材料（纳米线、量子阱）等，使之逐步成为今天亚纳米尺度材料分析的主流工具之一，得到越来越多的关注。

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